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光伏氧化工艺的目的主要是为了保护硅片表面的金属杂质不被腐蚀，同时增强硅片表面的钝化效果，从而提高光伏电池的性能和稳定性，氧化工艺还可以增强硅片表面的机械强度和抗热冲击性能，提高光伏组件的可靠性和耐久性。
至于过氧化工艺是吸热还是放热，这个问题需要具体分析具体的工艺过程，化学反应都有吸热或放热的特性，这取决于反应中化学键断裂和形成所需的能量变化，在某些过氧化工艺中，可能需要外部提供能量以引发反应，这样的过程可能是吸热的，而在其他情况下，过氧化工艺可能自发进行并释放能量，这样的过程则是放热的，无法简单地回答过氧化工艺是吸热还是放热，这需要依据具体的工艺条件和过程来分析。
仅供参考，建议咨询光伏行业专业人士或查阅相关书籍获取更多信息。